潽拓光电——Edwards EXT200/200H英国爱德华分子泵维修
广州潽拓光电科技有限公司成功维修 Edwards 爱德华分子泵维修-爱德华二手分子泵 Edwards EXT200/200H英国爱德华分子泵维修,Edwards EXT200/200H英国爱德华分子泵进气法兰口LF100,出气法兰口KF25,抽速200 L/S,对应的控制器为Edwards EXDC160/Edwards EXDC80
潽拓——{精},分子泵
广州潽拓,EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,如果需要也可远程使用。
受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年维修一次,zui大程度地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A),可在洁净室内实现低噪声。
潽拓——Edwards真空分子泵,分子泵
Edwards爱德华EXT200/200H GCMS质谱仪用设备泵维修二手分子泵
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广州潽拓从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,主要维修leybold,pfeiffer,alcatel,agilent(varian),shimadzu,Edwards,Osaka等一线品牌分子泵,欢迎来电咨询。